Материаловедение в микроэлектронике (1977) Л.С. Палатник

В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей, в также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния.

Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.