Материаловедение в микроэлектронике (1977) Л.С. Палатник

ср, 08/16/2017 - 08:14
Материаловедение в микроэлектронике
Автор(ы):
Л.С. Палатник, В.К. Сорокин
Издательство:
Энергия
Год:
1977
Формат:
DJVU
Размер:
4.30 МБ
Описание:

В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей, в также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния.

Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.

Категория:
Подкатегория:

Добавить комментарий