Вы здесь

Процессы микро- и нанотехнологий. Лабораторный практикум. Т.2 (2006) Д.А. Шутов

Процессы микро- и нанотехнологий. Лабораторный практикум. Т.2 (2006) Д.А. Шутов, Д.В. Ситанов
Процессы микро- и нанотехнологий. Лабораторный практикум. Т.2
Автор(ы): 
Д.А. Шутов, Д.В. Ситанов
Издательство: 
Ивановский государственный химико-технологический университет
Год: 
2006
Формат: 
PDF
Размер: 
3.80 МБ
Описание: 

Вторая часть данного лабораторного практикума содержит описание и порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу «Процессы микро- и нанотехнологий», входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 «Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника» и посвящена изучению технологий очистки материалов, получению тонких пленок на поверхности подложек, а также фотолитографии, технологии изготовления МДП – интегральных микросхем и планарно-эпитаксиальной технологии изготовления микросхем на биполярных транзисторах.

Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.

При подготовке лабораторного практикума были использованы методические рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ «Протон» г. Зеленоград.

Категория: